加速膛与复合飞片对集成爆炸箔起爆器性能的影响

采用微机电系统制造技术实现了爆炸箔起爆器的集成制备。利用磁控溅射工艺和化学气相沉积技术制备了0.4 mm(L)×0.4 mm(W)×4.6 μm(H)的Cu桥箔、聚氯代对二甲苯(Parylene C)(25 μm)/Cu(2μm)复合飞片层; 利用紫外光刻技术实现了环氧树脂干膜(SUEX)加速膛的制备, 获得了厚度为0.395 mm, 直径为0.40, 0.56, 1.00 mm的三种加速膛, 且壁面垂直度均良好。通过光子多普勒速度(PDV)测试系统, 研究了发火电压与加速膛尺寸对复合飞片速度的影响。进行了起爆六硝基茋(HNS)炸药的爆轰试验。结果表明, 复合飞片的速度随着发火电压的增加逐渐增大; 在相同发火条件下, 复合飞片的速度随着加速膛直径的减小反而逐渐增加, 即在同一发火条件下Ф0.40 mm的加速膛下获得的复合飞片速度最大。起爆HNS炸药的试验结果显示, 发火电压随着加速膛直径的减小逐渐降低; 相对于Ф1.00 mm的加速膛, Φ0.40 mm的加速膛在0.22 μF电容放电条件下, 发火电压降低了200 V左右