一种高集成高空间分辨率220 GHz检波器

设计了一种高集成检波器, 其包含贴片天线、匹配电路、肖特基二极管和透镜.在中芯国际130 nm工艺下将天线、匹配电路、肖特基二极管集成到一个芯片上, 检波器的集成度相比于分离式有了明显的提高.为增强片上天线的方向性, 进行了带有空气腔的尼龙透镜的设计和优化.透镜上的空气腔不但提供了组装空间而且减小了透镜体积.通过测试, 天线在220 GHz辐射增益为22 dB, 其中透镜贡献约为20 dB.检波器测试得到的响应率可达到130~150 V/W,等效噪声功率计算为400~460 pW/Hz