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ISSN: 2333-9721
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红外与毫米波学报 2016

（英）分子束外延生长InAsSb材料的组分控制

姚官生,孙令,孙庆灵,曹先存,王文奇,王文新,王禄,贾海强,陈弘

Keywords: 分子束外延铟砷锑组分控制

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Abstract:

采用分子束外延方法在GaAs和GaSb衬底上生长了一系列InAsSb薄膜,研究了Sb组分与Sb4束流间关系.实验发现,在分子束外延生长中,相比As原子, Sb原子更易并入晶格中.利用该特性可较好实现InAsSb材料的组分控制

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