基于钽酸锂晶体材料镍铬薄膜在14~16 μm波段红外增强吸收特性

纳米级金属薄膜能够作为热释电探测器红外吸收薄膜在14-16um波段范围内有效应用已经得到证明。通过调节沉积在LT（钽酸锂）晶体材料上的纳米级镍铬（NiCr）薄膜的厚度和表面特征来改善纳米金属薄膜红外吸收特性。通过调节晶体材料的厚度，改变抗反射腔的深度，从而调节吸收波长。为进一步加强红外吸收，应用化学腐蚀，生成粗糙的纳米级薄膜表面结构，从而极大程度上增加吸收表面积。通过将这两种方法结合，可以明显增强指定波段的红外吸收，且其制造过程完全兼容，易于实现。可控的吸收性能的实验结果与仿真和设计情况相符合