一种可吸收垂直入射光的管状量子阱红外探测器

基于传统的光刻和化学湿法腐蚀工艺,通过卷曲技术,提出一种三维管状量子阱红外探测器。该管状器件相比于未卷曲的平面器件,在垂直入射光照下,展现了优良的暗电流、黑体响应和光电流响应率特性曲线。当工作温度60 K,偏置电压0.45 V时,管状器件峰值响应率为20.6 mA/W,峰值波长3.62 μm,最大量子效率2.3%。从几何光学的角度分析了管状器件的垂直光吸收原理,进而揭示了一种特殊的光耦合方式。最后,进一步测试了不同角度入射光照射下的光电流响应率谱。由于微管的近似圆形对称性,器件具有很宽的视角,有助于红外探测系统的设计