980 nm高峰值功率微型化VCSEL脉冲激光光源

报道了输出波长980 nm的高峰值功率垂直腔面发射激光器(VCSEL)及其微型化脉冲激光光源.通过优化VCSEL单元器件的结构, 有效抑制了宽面VCSEL结构中的非均匀电流分布, 提高了单元器件的斜率效率, 获得了直径400 μm, 峰值输出功率62 W的VCSEL单元器件; 在此基础上, 研制出由单元器件组合封装而成的VCSEL“准列阵”子模块以及集成驱动电路的微型化VCSEL脉冲激光光源, 该光源在脉冲驱动条件为30 ns、2 kHz、105 A条件下的峰值输出功率达到226 W, 光脉冲宽度35 ns, 中心波长979.4nm, 斜率效率达到2.15 W/A