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ISSN: 2333-9721
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基于偏振态空间调制的紧凑型偏振光谱仪

Keywords: 紧凑型 可见光谱 椭偏仪

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Abstract:

提出并实现了一种紧凑型偏振光谱仪, 该仪器采用光谱仪阵列, 使测量光谱范围覆盖可见光波段; 采用部分平行光路设计, 简化了测量配置和系统校准方法; 运用入射面旋转效应, 实现了偏振态的空间并行调制, 减少了测量时间.对多组样品测量的结果证明了该紧凑型偏振光谱仪测量的准确性.由于测量速度快、结构简单且易于在线集成, 该紧凑型偏振光谱仪作为一种实时在线测量工具极具潜力

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