退火对Mn-Co-Ni-O薄膜器件性能的影响

采用磁控溅射法制备了厚度为6.5 μm的Mn1.95Co0.77Ni0.28O4组分的薄膜材料，把材料分别在400℃，500℃，600℃，700℃，800℃下进行后退火处理.结果表明，室温下的负电阻温度系数α295值随退火温度增加先增大后减小，而电阻率ρ295则是随退火温度增加逐渐减小的；在相同频率下，500℃退火样品的归一化噪声谱密度 (SV·VR/V2) 最小，700℃退火样品的归一化噪声谱密度最大.退火温度越高会造成越多的晶体缺陷，从而降低有效导热系数、增大时间常数τ和器件噪声