飞秒激光脉冲数对P型HgCdTe激光打孔成结效果的影响

飞秒激光对p型HgCdTe打孔形成PN结.该实验基于1 kHz低重复频率飞秒激光采用不同脉冲数在p型HgCdTe上打孔形成尺寸不同的微孔结构.实验发现脉冲数是影响成结效果的重要参数.激光诱导电流(LBIC)检测表明,随着脉冲数由单个增至10个,微孔侧壁反型层宽度由13.5 μm减小到10.5 μm.当脉冲数增大至100个时,微孔LBIC信号曲线已严重偏离PN结所对应的正负峰对称线形,意味着结特性趋于失效.对LBIC曲线拟合表明,单脉冲打孔形成的PN结给出最大的载流子扩散长度,约为17 μm,而10个脉冲对应的环孔PN结扩散长度则减小为12 μm