氧化锌薄膜的微观结构及其结晶性能研究

以普通玻璃作为衬底材料，采用射频磁控溅射方法制备了氧化锌(ZnO) 透明导电薄膜， 通过 X 射线衍射(XRD) 和 X 射线光电子能谱(XPS) 测试，研究了衬底温度对薄膜微观结构及其结晶性能的影响． 结果表明: 所制备的 ZnO 薄膜均为(002) 晶面择优取向生长的多晶薄膜，其微观结构和结晶性能与衬底温度密切相关.衬底温度对ZnO 薄膜的织构系数 TC(hkl)、平均晶粒尺寸、位错密度、晶格应变和晶格常数都具有不同程度的影响,当衬底温度为 800 K 时,ZnO 薄膜样品的织构系数 TC(002) 最高(4.929)、平均晶粒尺寸最大(20.91 nm)、位错密度最小( 2.289×1015 line·m-2 )、晶格应变最低(2.781×10-3)，具有最高的(002) 晶面择优取向生长性和最佳的微观结构性能