基于可控液压阀的微流体驱动结构

一种基于液压驱动的微阀结构的微流体驱动结构及其驱动方法，微阀结构采用压电陶瓷作为能量输出单元，以作用于压电陶瓷的可控PWM波实现实时开关控制.在该驱动结构中置有主泵腔以及多个液压微阀，采用高速动态调节各微阀开关状态的方式实施流体的驱动.该驱动结构具有体积小，控制精确，易于集成于微流控芯片等特点，可用于微全分析系统中的流体驱动，POCT小型化设备的流体控制等方面