SiOx/PET复合薄膜的力学性能及阻隔性能

目的 基于氧化硅（SiOx）镀层优异的性能，研究不同厚度的SiOx层对SiOx/PET复合薄膜力学性能和阻隔性能的影响，以期得到性能较优的SiOx/PET复合薄膜。方法 以自制的聚对苯二甲酸乙二醇酯（PET）薄膜为基材，采用等离子体增强化学气相沉积法沉积得到SiOx层厚度分别为40，150，230，320 nm的SiOx/PET复合薄膜，并进行傅里叶变换红外线光谱分析、力学性能和阻隔性能测试，以及薄膜表观形貌分析。结果 沉积SiOx层后，SiOx/PET复合薄膜拉伸强度和断裂伸长率随SiOx层厚度的增大先增大后减小，氧气透过率和水蒸气透过率则出现明显衰减而后逐渐平缓的趋势。SiOx层厚度达150~230 nm时，复合薄膜的力学性能和阻隔性能表现较优，拉伸强度、断裂伸长率、氧气透过率以及水蒸气透过率分别提高了约25.0%，20.9%，79.3%，77.3%。结论 适宜厚度的SiOx层可以使得SiOx/PET复合薄膜同时具备较优的力学性能和阻隔性能