机械密封流体动压槽加工工艺技术研究进展

综述流体动压槽加工工艺技术的研究进展，并评述各种加工技术在加工流体动压槽时存在的优缺点，包括光刻加工、电火花加工、电解加工、超声波加工、激光加工等；指出：光刻加工技术、电火花加工技术和激光加工技术加工流体动压槽是切实可行的，并已有成功案例，其中以激光加工技术应用得最为广泛，但其加工机制仍未得到深入研究；电解加工技术和超声波加工技术也具有加工流体动压槽的可行性；复合加工技术具有各种加工技术的优点，在流体动压槽加工方面具有更大的优势，是未来的一个发展方向；随着精密加工技术的不断发展，流体动压槽加工技术会朝着精确化、复杂化、高效化方向发展。