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- 2016
气膜结构对长光栅刻制气浮平台气膜特性的影响DOI: 10.3969/j.issn.0254-0150.2016.03.020 Keywords: 气浮平台 承载力 速度死区 耗气量 Abstract: 为满足长光栅刻制气浮平台的设计要求，通过建立气浮导轨上气膜面的有限元模型，以承载能力、耗气量及流场“死区”速度作为性能指标，分析不同的节流器和均压槽形式对气浮导轨气膜特性的影响。结果表明：不同的导轨结构会造成压力场特性发生变化，进而影响气膜承载力、死区速度及耗气量；3×3节流器王字型均压槽的结构形式能有效提高承载能力，消除速度死区，且耗气量未明显增加，该结构能满足长光栅刻制对气浮平台长时间工作的要求
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