TiAlN，CrAlN和TiCrN涂层的制备及摩擦学性能研究

运用直流和射频磁控共溅射的方法制备TiAlN、CrAlN和TiCrN 3种涂层，研究涂层的力学性能及在空气和水基切削液中的摩擦学性能，揭示其磨损机制。研究发现，Al元素主要以固溶体形式存在于TiAlN和CrAlN涂层内；3种涂层的显微硬度分别为HV7193、HV10225和HV9735。在空气中TiAlN、CrAlN和TiCrN涂层与SUS440C钢球对摩的稳态摩擦因数分别为125、114和131，TiAlN和CrAlN涂层的磨损机制主要是氧化磨损，而CrTiN涂层以磨粒磨损为主；而在水基切削液中3种涂层与SUS440C钢球对摩的摩擦因数明显降低，其对应的稳态摩擦因数分别为044、047和077，但磨痕上的划痕加剧，其磨损机制以磨粒磨损为主。