低刚度石英加速度计摆片加工工艺

摘要 针对高精度石英挠性加速度计对石英摆片性能改进的需求,梳理出在加工制造过程中应克服的工艺难点,对其中的研磨、刻蚀、激光切割、镀膜四个关键工序开展研究,提出各工序具体的工艺实现及采取的工艺措施,最终概括了各工序工艺要领,提出工序融合,互相兼顾的工艺思想