等离子体氮钝化GaSb材料表面特性研究

利用等离子体增强原子层沉积系统, 以逐层刻蚀方式对GaSb进行氮(N)钝化处理, 研究了钝化过程中刻蚀周期对GaSb钝化效果的影响。研究结果表明, 当刻蚀周期数为200时, 钝化效果最好; 刻蚀周期数不足(100)时, 钝化效果最弱; 刻蚀周期数较高(300~400)时, 随着刻蚀周期数的增大, 钝化效果减弱。