压电器件的精密超声复合电解加工技术
Design of precision ultrasonic compound electric machining for piezoelectric components

设计了用于压电器件精密加工的超声复合电解加工系统，采用组合电加工技术制作工具电极。运用ANSYS软件对超声振动系统进行参数化建模，并用其多物理场耦合功能进行动力学分析，得出超声系统振动特性参数。通过激光微位移传感器进行振动特性参数检测，验证超声振动系统设计及ANSYS模型分析的正确、可靠性。进一步采用超声及其复合电解组合加工方法，对表面镀膜压电器件进行批量加工试验。结果表明：本方法在满足加工精度的基础上，能够大幅提高加工效率，并降低加工成本