多丸片固着磨料研磨高精密光学元件的参数优化

为了增强固结磨料研磨去除的可控性和确定性，提高光学元件的研磨加工精度和效率，以高精度光学元件为研究对象，分析了行星转动加工方式的多丸片固结磨料研磨的去除特性及参数优化。首先基于Preston方程分析了在研磨接触区域的相对速度、接触时间，并在利用ANSYS求得应力分布规律的基础上建立了多丸片固结磨料研磨的材料去除函数模型；引入趋近因子概念，通过对比去除函数归一化图形，对6种抛光盘模型的运动偏心比和速度比参数进行了优化，获得了多丸片固结磨料抛光盘的最大去除深度和去除量。