多晶硅净化系统过滤元件再生机理研究 A study of the regeneration mechanism of filter elements in polysiliconpurification system

采用酸浸和高温气体还原的方法,对某多晶硅厂的堵塞过滤元件进行再生。结果发现:固体颗粒在不锈钢过滤管中的附着形态分为两类:一类为颗粒在孔道中粘结在一起形成大块颗粒,完全堵塞在不锈钢过滤管的孔道中;另一类为颗粒粘附在孔道壁上,减小了不锈钢过滤管孔径的大小。过滤元件经过酸浸和高温烧结的联合方法再后,过滤元件的透气系数恢复了88.5%,过滤精度为1.3μm,压溃强度提高至131 MPa。性能达到使用要求,从而创造社会经济价值。