多晶硅用Fe基高温气体净化膜材料制备及性能研究 Preparation and property research on porous Fe based membrane materials for high temperature gas filtration in polysilicon industry

为满足多晶硅行业生产中高温含尘气体过滤的需求,本文开展了Fe基高温气体净化膜材料成形和烧结工艺研究,获得了支撑体以及微滤膜层的最佳制备工艺。结果表明:本实验选用的Fe基粉末采用气氛烧结的最佳烧结温度为1 280℃,在该温度下所获样品的耐压强度为113.82 MPa,相对透气系数223.84 m3/m2·KPa·h,通过粉末湿法喷涂技术制备了金属微滤膜层,获得的Fe金属微滤膜元件对于1μm的气体粉尘过滤效率可达98%以上,完全满足了多晶硅等行业生产中高温含尘气体净化分离的需求。