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OALib Journal期刊
ISSN: 2333-9721
费用：99美元
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ibad薄膜与基体界面的显微结构
Keywords: 离子束辅助沉积(ibad),界面,显微结构
Abstract:
？采用中能离子束辅助沉积(ibad)技术,在单晶al2o3(0001)基片上沉积mo膜,在gaas(001)基片12合成fe16n2薄膜用hrem等研究了mo膜-al2o3(0001)、fe16n2膜-gaas(001)界面的显微结构结果表明:mo膜的晶粒呈细小性状或纤维状,晶粒平均尺寸约8nm,fe16n2薄膜为等轴晶,晶粒平均尺寸约为10nm,在mo膜-al2o3(0001)界面及fe16n2薄膜-gaas(001)界面处存在厚10～15nm的由基片原子及膜层原子组成的非晶过渡层在过渡层与薄膜界面处存在台阶,增加了薄膜的形核点,薄膜的致密度较高。
| [1] | 1李斗星,平德海,宁小光,叶恒强金属学报1992,a28(7):2832ruhlem,evansag,ashbymf,hirthjpmetal-ceramicinterface．newyork:pergamonpress,1990:1843dirksag,woltersram,veirmanaemde．thinsolidfilms,1992,208:1814hoffmanra．linjc．thinsolidfilms,1991,206:2305smidtfa．internationalmaterialsreviews,1990,35(2):616杨杰,王晨,陶琨,范工殿真空科学与技术学报,1993,13(5):352
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