射频溅射mos_2、ws固体润滑膜在脂润滑下的摩擦学特性

？用球-盘试验机研究了射频溅射mos2,ws2固体润滑膜在脂润滑下的摩擦学特性,并用xps,sem和edx等方法进行了分析.结果指出,在锂基脂润滑下,表面溅射mos2薄膜后摩擦系数降低,擦伤载荷成几倍或几十倍增长,尤其在高滑动速度下效果更加明显,可在一定载荷范围内代替2#主轴油进行润滑,摩擦中mos2膜表层组织很容易剥落,摩擦中与基体结合较牢的主要是表面下的有效膜厚。因而在本试验条件下两种厚度mos2膜的摩擦学性能基本无差别,溅射ws2膜中含氧量很高,且在整个膜层中均以wo3存在,因此减摩效果不理想。