激光化学气相反应生长ti(c,n)薄膜的成分及微观结构
Keywords: 激光,化学气相反应生长薄膜,ti(c,n)
Abstract:
？运用xrd、epma、tem等手段分析在ti—6al—4v基材上用激光化学气相反应生长的ti(c,n)薄膜的成分、结构、显微组织可在基材表面形成大面积均匀的ti(c,n)膜层,为无明显择优取向的等轴纳米晶,其中有少量的ti2n相,且al、v含量低于基材。
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