直流磁控溅射非晶碳膜的导电性和耐蚀性

？用直流磁控溅射技术在304不锈钢基体上制备导电非晶碳膜,重点研究了基体偏压对非晶碳膜微结构、导电性和耐蚀性的影响。结果表明:与纯不锈钢双极板相比,经非晶碳膜表面改性的不锈钢表面的导电性和耐蚀性均大幅度提高。当基体偏压为-200v时在质子交换膜燃料电池组装典型压力(1.5mpa)下非晶碳膜的sp2含量最高,使改性不锈钢双极板具有最低的接触电阻(16.65mωcm2);在模拟质子交换膜燃料电池工作环境的腐蚀溶液中镀膜后不锈钢板的腐蚀电位显著提高,腐蚀电流明显下降。尤其在偏压-200v下薄膜具有最佳的致密性,腐蚀电位为0.25v,腐蚀电流密度为1.22×10-8a/cm2,耐蚀性能最佳。