脉冲频率对锆薄膜表面形貌和结构的影响

？用脉冲激光气相沉积法在金属钼基底上制备锆薄膜,并用sem,afm,xrd等手段分析薄膜表面形貌和晶体结构,研究了脉冲激光频率对薄膜表面形貌和晶体结构的影响。结果表明:随着激光脉冲频率的提高锆薄膜表面液滴数目增加,液滴尺寸增大,薄膜的沉积速率显著降低。薄膜表面的平均纳米颗粒尺寸,随着频率的提高呈现先增大后减小的规律。从xrd数据发现,较高的脉冲频率极大地促进了薄膜的结晶性生长;但是,频率变化对zr薄膜晶体结构、晶面择优生长的影响并不明显,薄膜呈现典型的hcp结构且不随频率的变化改变。