高温退火后含he纳米晶钛膜中he相关缺陷的演化*

？利用x射线衍射(xrd)和慢正电子束分析(spba)技术研究高温退火后含he钛膜的微观结构和钛膜内he相关缺陷的演化。xrd分析表明,高温退火后ti和si在高温下发生反应形成稳定的多晶tisi2化合物,he原子的掺入会影响tisi2晶体的择优取向,而对tisi2晶粒尺寸的影响较小。spba结果表明,室温下,钛膜内的缺陷浓度或尺寸会随着掺he浓度的增加而增大;高温退火后,当he浓度小于5%(原子分数,下同)时(除2%外),钛膜内的he相关缺陷浓度随着he浓度增加相应地增加。当he浓度增加到14%时,高温会使较高浓度的he原子、he-空位复合体以及小he泡迁移聚集形成一些尺寸较大he泡,而较大he泡周围与he相关的小尺寸缺陷的浓度则会发生相应地减少。