水性丙烯酸光致抗蚀干膜的合成

？采用溶液聚合法合成了水溶性丙烯酸树脂（wbac），将其与季戊四醇三丙烯酸酯（peta）、紫外光引发剂调配制备了水性丙烯酸光致抗蚀干膜。傅里叶红外光谱分析表明，peta和wbac发生了光固化交联反应；光致抗蚀干膜感光层涂膜性能测试表明，经uv固化后涂膜的凝胶率和硬度能显著提高，改善涂膜的耐溶剂性，降低了涂膜的水溶性；gpc和tg分析表明，经uv固化后，光致抗蚀干膜相对分子质量明显变大，耐热性能显著提高。peta和wbac的质量比为0.4时，uv固化后光致抗蚀干膜的水溶性5.54%，乙醇失质量率wy为5.56%，凝胶率和摆杆硬度分别为74.18%和0.71涂膜失质量5%的温度为302.6℃。