bifeo_3薄膜的溶胶-凝胶制备及其铁电和介电性质

？采用bi(no3)3.5h2o和fe(no3)3.9h2o为原料,用溶胶-凝胶方法在pt/ti/sio2/si制备了bifeo3薄膜。xrd研究表明在500℃以上退火薄膜能够获得良好的结晶。铁电性测试结果表明450℃和500℃退火的薄膜铁电性相对较弱。在430kv/cm的测试电场下,剩余极化分别为0.255μc/cm2和0.36μc/cm2。而550℃和600℃退火的薄膜的铁电性相对较强,在相同的测试电场下剩余极化强度分别为2.27μc/cm2和2.97μc/cm2。介电性研究表明450―550℃退火的薄膜具有小的介电色散和介电损耗,而600℃退火的薄膜则具有大的介电色散和介电损耗。