溶胶凝胶法制备氧化硅薄膜裂纹形貌研究

？用溶胶凝胶法在玻璃基底上制备了波浪形纳米裂纹，并研究了氧化硅薄膜内波浪形纳米裂纹的形貌和生长过程。波浪形裂纹宽度在50―500nm之间，振幅和波长在5―10μm内。波浪形裂纹总是在缺陷处优先生长。波浪形裂纹的生长过程中要经历3个阶段：波浪形裂纹尖端孕育形成、裂纹加速生长、快速生长直到生长结束。波浪形裂纹扩展长度随着热处理时间增加而增加，其扩张长度可以达到100μm以上。这些波浪形裂纹可以用作制备纳米线的模板。