1.6ghz薄膜体声波谐振器研究

？aln材料具有良好的压电特性和很高的声波速度，是制作性能优良薄膜体声波器件的首选材料之一。对氮化铝薄膜体声波谐振器原理进行了分析，探讨了氮化铝薄膜体声波谐振器的设计方法，在制备高？c？？轴取向氮化铝薄膜的基础上，通过上电极和氮化铝薄膜一次光刻两步刻蚀工艺方法制作了1.6ghz氮化铝薄膜体声波谐振器，并探讨了谐振器的频率影响因素。