cvd反应温度对氮化硼纳米球体制备的影响

？研究了化学气相沉积反应温度对氮化硼纳米球体粒径、成分及形貌的影响。当反应温度为950℃时，所得产物的形貌为规整的、表面光滑的球形，其粒径最小，约为60nm左右，粒径均一，没有孪晶；随着cvd反应温度的提高，产物中硼氮元素的摩尔比接近1∶1，碳、氧等杂元素含量下降，但氧元素含量保持较高的水平，不低于5%；无论cvd反应温度高低，在800―1300℃范围内，所得产物主要成分是h？bn，其含量随温度升高而增加，同时形貌变得不规则。