基于“荷花效应”的mems功能表面仿生技术

？微机电系统(mems)正在成为新崛起的大规模产业和各国政府竞争的至高点,但随着其特征尺度的日趋减小,表面效应显著增强,由此引起的摩擦磨损、表面粘附等问题成为制约mems发展的瓶颈。论证了“荷花效应”应用于mems领域仿粘减摩的机理,探讨了类荷叶仿生功能表面的制作方法,并给出了初步试验结果。