pd/v2o5薄膜的氢气敏感性质研究

？采用磁控溅射法制备了不同厚度的pd/v？2o？5双层复合薄膜，采用紫外？可见光分光光度计研究了薄膜的氢气敏感性质，原位测量了薄膜的激光拉曼光谱并分析了薄膜的氢气敏感机理。结果表明，复合薄膜v？2o？5（280nm）/pd（30nm）对氢气的敏感性质较好，对0.01%h？2？n？2有响应，在4%h？2？n？2标气中，在560nm处透过率的相对变化值达到25％。拉曼光谱分析结果表明，pd/v？2o？5薄膜在与氢气作用过程中，pd膜主要起催化作用，氢原子扩散到v？2o？5层，v？？5+？转变为v？？4+？，导致pd/v？2o？5薄膜的透过率发生变化。