光学石英玻璃加工表面微结构特征

？光学石英玻璃是光学精密器件的常用材料，其表面加工质量直接决定光学器件性能。借助光学显微镜和afm，研究光学石英玻璃加工后表面微观形貌与损伤层厚度，探索表面缺陷与亚表层损伤形成机理。结果表明，切片表面损伤最严重，损伤最大深度近50μm；粗磨表面次之，损伤最大深度近30μm；精磨后表面粗糙度与损伤层厚度皆大大降低；粗抛样表面存在少量划痕与破点；精抛样在显微镜下观察不到表面缺陷，损伤层厚度小于1μm。古典抛光表面粗糙度小、光洁度优于cmp表面，但cmp表面产生划痕或破点的几率远小于古典抛光。