la掺杂bati2o5薄膜的制备及性能

？采用溶胶？凝胶法在pt/ti/sio2/si衬底上成功制备了不同摩尔分数la掺杂bati2o5薄膜。研究了不同la掺量的bati2o5（ba1-xlaxti2o5）薄膜的物相组成、介电性能和铁电性能。xrd分析结果表明，采用溶胶？凝胶法经过850℃退火制备的ba1-xlaxti2o5(0≤x？≤0.01)薄膜样品结晶较好，无杂相出现。la掺杂提高了薄膜的介电性能和铁电性能，当掺杂量0.004≤x≤0.008，测试频率为1mhz时，薄膜的介电常数约为630；当x=0.004时，掺la的bati2o5薄膜的剩余极化值最大，2pr=2.1μc/cm2。