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ISSN: 2333-9721
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测量微米级薄膜厚度与弹性模量的一种新方法

Keywords: 薄膜/玻璃复合梁,弹性模量,三点弯曲

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Abstract:

?提出一种决定镀在玻璃板上的薄膜力学性能的新方法。根据复合材料力学,建立了弯曲条件下复合梁的分析模型,并导出了相应的应变响应关系。用此模型测出了微米级薄膜的厚度和弹性模量。

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