铝离子掺量对tin薄膜光学性能的影响

？用直流反应磁控溅射法在普通玻璃上制备了alxti1-xn(x<0.42)薄膜,用x射线光电子能谱(xps)、紫外可见光谱和椭圆偏振仪研究了铝离子含量对tin薄膜光学性能的影响。结果表明,铝离子含量主要影响tin薄膜的消光系数