高灵敏度差分电容检测电路的研究

？基于微机械工艺制作的加速度计,许多都是采用差动结构电容的变化来反映被测量的方向和大小。针对该需求研制了检测微小电容变化的电路。它检测电容变化的频率范围为dc～30khz,对寄生电阻、电容本质不敏感,既可以检测单边电容变化,也可以检测差动电容变化,而且很容易由分离电路元件实现。该电路输出噪声极低,标称电容为10pf时,电容检测分辨率可达3af/hz,和量程为1g的电容加速度计连接,输出灵敏度为4.5v/g,加速度检测分辨率可达7×10-6g/hz