厚度对cmn/ct薄膜结构与性能的影响研究

？采用pechini方法制备ca(mg1/3nb2/3)o3（cmn）及catio3（ct）前驱体溶液，采用液相旋涂技术按照一定的排布方式制备cmn/ct介电异质薄膜，研究薄膜厚度、异质层排布方式及热处理时间等对薄膜的结构与介电性能的影响。结果表明，cmn/ct介电异质薄膜具有单一的钙钛矿结构，异质界面具有介电增强效应，随着薄膜厚度增加，异质结构变得不明显，晶粒尺寸和表面粗糙度增加，介电性能增强，厚度到一定程度以后，介电损耗会明显增加。排列方式对异质薄膜的介电性能产生大的影响，ct薄膜层越靠近底层的异质薄膜的表面粗糙度越大，界面数越多的排布方式的介电增强效应越明显。