激光沉积法制备近红外高屏蔽性能透明薄膜

？以金属锌、铁、银为靶材,用准分子脉冲激光沉积法(pld),在石英玻璃基片上制备了锌、铁、银的金属氧化物多层薄膜。xrd和afm研究结果表明薄膜的结晶度很好,晶粒尺寸在30~50nm,成膜均匀致密,光滑平整;经紫外和红外光谱发现:ag/fe/zn氧化物多层膜反射率小于15%,是一种低反射薄膜,其在可见光区的透过率约为50%(浅蓝灰色),对紫外的阻隔率大于90%,对近红外的阻隔率大于70%。