类金刚石薄膜对low-e玻璃可加工性能的影响

？采用射频等离子体增强化学气相沉积法（rf-pecvd)，在low-e玻璃表面沉积了类金刚石（dlc）薄膜作为保护层。通过摩擦磨损实验研究dlc膜对low-e玻璃耐磨性的影响；对沉积了dlc膜的low-e玻璃进行热处理，研究热处理后low-e玻璃低辐射性能和光学性能的变化。结果表明，dlc膜沉积速率为2.5～4nm/min，沉积时间4min以上时，low-e玻璃摩擦系数开始降低到0.5以下，玻璃表面无破裂迹象，说明一定厚度dlc膜能够有效降低low-e玻璃摩擦系数，提高low-e玻璃耐磨性；热处理后，沉积不同时间dlc膜的low？e玻璃与未沉积dlc膜的low-e玻璃相比，方块电阻最大相差0.04ω/□，？e值最大相差0.0019，膜面反射、玻面反射、透过颜色δe值均小于3cielab，说明dlc膜可以通过热处理去除，且热处理后的low-e玻璃低辐射性能和光学性能未受到影响。