反应气源中硼碳比对bdd电极电化学检测cr6+的影响

？采用微波等离子体化学气相沉积法(mpcvd)以氢气和甲烷为生长源、硼烷作掺杂源，在不同硼碳比(b/c)下制备不同硼含量的掺硼金刚石（bdd）薄膜电极，通过扫描电镜、拉曼光谱对其表面形貌、组成及结晶质量进行对比分析。依次将不同b/c下制备的bdd电极作为工作电极，通过差分脉冲伏安法检测溶液中痕量cr6+浓度。结果表明，随着b/c增大，bdd电极膜材中金刚石晶粒间密实度下降，晶粒完整度变差；电极电化学检测cr6+信号随反应气源中b/c增大而增大，当b/c=0.006时信号最强，电极检测限可达12ppb。加入干扰离子后检测效果依然良好。但b/c继续增大检测信号会随之降低。b/c在0.004~0.01范围内制备的bdd电极具有相对较好的电化学检测cr6+性能。