热处理工艺对钒氧化物薄膜结构和性能的影响研究

？为了研究热处理工艺参数对v2o5薄膜微观结构与性能的影响，采用改进无机溶胶-凝胶法制备稳定的v2o5溶胶，以石英玻璃为基片，通过浸渍提拉法制得v2o5薄膜，再进行真空热处理。利用x射线衍射谱仪（xrd）、场发射扫描电镜(fesem)、uv-vis分光光度计和uv-vis？nir光谱仪对热处理后的v2o5薄膜进行测试。结果表明，热处理工艺参数（时间、温度等）的变化对v2o5薄膜分解的动力学和热力学过程产生影响，从而引起薄膜表面形貌、物相以及光学性能的演变。