sol-gel法制备bst铁电薄膜及性能研究

？采用溶胶-凝胶法在lanio3基底上制备了ba0.5sr0.5tio3(bst)铁电薄膜。研究了不同退火温度对薄膜结晶性能的影响,并测试了各种bst薄膜的介电性能、铁电性能。实验结果表明经700℃退火处理的bst铁电薄膜具有比较优越的电性能,在测试频率为1khz时,700℃退火的bst薄膜的介电常数为384.1,介电损耗为0.0186,在室温下外加偏压为1v时,700℃退火的bst薄膜漏电流密度达到6.7×10-8a/cm2,其剩余极化强度和矫顽场分别为4.85μc/cm2和65.2kv/cm。