自制桥式差分电容测量电路

？差分电容传感器电路采用交流电电容桥法对差分电容进行测量。此方法所采用的载波信号为100khz的高频交流信号。相位敏感解调器将输出的高频交流信号转化为直流信号输出之后，利用rs？232电缆将电压表与电脑连接起来，对输出电压进行记录。实验中，需要先使用固定电容对此电容传感器进行标定，然后将其应用到微小可变电容的测量中。此实验设计出的电容传感器，其分辨率可高达0.01ff，等效于差分电容桥的nm级位移。