甲烷流量对类金刚石薄膜氢含量和性能的影响

？采用射频等离子体增强化学气相沉积(rf？pecvd)法，固定甲烷气压为1.33pa，变化甲烷流量30～100sccm在玻璃上制备了一系列类金刚石(dlc)薄膜，采用残余气体分析仪、拉曼光谱和椭偏仪测试手段分别研究了甲烷等离子体中氢分压的变化、dlc膜中的氢含量和dlc膜的光学性能，采用摩擦磨损仪研究了dlc膜的耐摩擦性能。结果表明，随甲烷流量的增大，甲烷等离子体中的氢分压和dlc膜中的氢含量减小，光学带隙从1.77ev减小到1.65ev。在300～2500nm的波长范围内折射率随流量的增大而增大，中心波长550nm的折射率从2.11增加到2.15。普通玻璃的摩擦系数约为1.2，而镀有dlc膜的玻璃的摩擦系数下降到0.4，甲烷流量为60sccm时制备的dlc膜耐磨性最佳。