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天津大学学报(自然科学与工程技术版) 2000
isg工艺合成srtio3纳米粒子薄膜, PP. 411-413 Keywords: srtio3薄膜,溶胶-凝胶法,纳米粒子,无机盐原料 Abstract: 采用isg工艺,在氧化铝陶瓷基片上合成srtio3陶瓷薄膜,研究了溶胶性能和溶胶-凝胶的晶化过程,分析了薄膜的形成及结构.结果表明,sro-tio2复合氧化物系统由凝胶向结晶相的转变过程中,无简单氧化物等中间相生成,经400～800℃,0.5h,可生成结晶度较好的单一的立方srtio3相.srtio3陶瓷薄膜晶粒为10nm左右
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