？材料表面硬度及形状的afm分析方法

？利用afm测量软性材料如聚合体、生物物质时，afm探针对被测软性材料表面施加一定的力而引起材料表面产生变形。通过测力-位移曲线，基于afm测力-压痕曲线分析，探讨了减轻该影响并获得高精度软性材料表面形状测量结果的方法，进而计算材料表面微观杨氏弹性模量。该方法不仅可决定物体的表面弹塑性，获得高精度的表面形状测量结果，而且通过了解物体变形机理，进一步分析材料的微观特性。