tio_2纳米薄膜的制备与氧敏性能的研究

本文通过sol-gel法在al2o3基片上制得了tio2纳米薄膜,经xrd分析,薄膜具有多晶结构,其主晶相为金红石.本实验还对tio2薄膜的氧敏特性进行了研究,实验结果表明,tio2纳米薄膜在800℃下具有良好的氧敏特性和重复性,并且具有较快的响应速度